磁控溅射镀膜机工作原理是在真空状态下,使用弧光放电和辉光放电的工作原理。在金属和非金属的工件表面上镀制金色的氮化钛,黑色碳化钛,七彩的氮氧化钛等。亦可镀防腐蚀膜(如AL,Cr不锈钢及TiN等)和耐磨膜,膜层与基底结合牢固,利用溅射工艺进行镀膜,可提高膜层的附着力、重复性、致密度、均匀度等特点。适合于塑料制品、陶瓷、树脂、水晶玻璃制品等、工艺品、塑料手机壳、电子产品、建材等行业,具有很好的发展前景。 (1)真空度低于0.67Pa。应将真空度提高到0.13-0.4Pa。(2)氩气纯度低于99.9%。应换用纯度为99.99%的氩气。(3)充气系统漏气。应检查充气系统,排除漏气现象。(1)底漆固化不良或变质。应适当延长底漆的固化时间或更换底漆。(2)膜层太薄。应适当提高溅射速度或延长溅射时间。(4)镀件的几何形状太复杂。应适当提高镀件的旋转速度(1)底漆喷涂得太厚。应控制在7—lOtan厚度范围内。(2)镀件表面溅上水珠或唾液。应加强文明生产,操作者应带口罩。(3)涂底漆后手接触过镀件,表面留下指纹。应严禁用手接触镀件表面。(5)静电除尘失效或喷涂和固化环境中有颗粒灰尘。应更换除尘器,并保持工作环境的清洁(2)真空室内不清洁。应清洗真空室。值得注意的是,在装靶和拆靶的过程中,严禁用手或不干净的物体与磁控源接触,以保证磁控源具有较高的清洁度,这是提高膜层结合力的重要措施之一。(5)溅射工艺条件控制不当。应改进溅射镀工艺条件。
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