【精华】CMOS工艺流程

本期光刻人的世界为大家介绍CMOS工艺流程，CMOS（Complementary Metal Oxide Semiconductor），互补金属氧化物半导体，电压控制的一种放大器件，是组成CMOS数字集成电路的基本单元。作者为中科院微电子研究所的陈宝钦研究员以及华中科技大学的刘世元教授。陈宝钦老师从事微电子相关工作50余年，见证了我国微电子从无到有，从落后到跻身世界前列的艰苦历程，有丰富的工作经验。刘世元老师长期从事纳米光学测量技术与仪器方面的研究工作，承担过多项微电子领域的科研项目。

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