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半导体制造是一项技术要求很高的工作，需要在严格控制的环境中进行，以确保产品的质量和生产效率。而且半导体器件的制造过程中涉及许多高精度的工艺步骤，因此任何环境因素，如温度、湿度、空气中的微粒等都可能对产品的性能和质量产生重大影响。为了满足这些严格的技术要求，建设一个专业的半导体器件洁净车间就变得至关重要。接下来就以EPC工程（总承包）集成服务商CEIDI西递的项目为例，详细讨论一下半导体器件洁净车间的建设要点。  在设计和装修百级半导体厂房洁净车间时，CEIDI西递设计师主要会根据人流和物流的净化流向进行精确的布局和配套系统设计：①对于工作人员的净化路线，从入口到洁净生产区，需要经过以下步骤：换鞋、更换外出服、洗浴、清洁走廊、二次洗浴、更换洁净服、风淋室和进入洁净生产区。②对于物品的净化路线，从入口到成品库，依次经过以下环节：原料库、粗洁净、传递窗、精洁净、传递窗、洁净生产区、传递窗、包装和成品库。 半导体洁净车间的主体结构宜采用大空间及大跨度柱网，不宜采用内墙承重体系，所有建材均要求平顺光滑，以不易产生静电吸附的材质为宜，从内部断绝静电的停留，常用的地面材料有PVC、环氧树脂等，而墙面材料则可以选用不含甲醛的墙板或瓷砖等。除此之外，半导体净化车间内设计的空气流动方向大部分要以上往下为主，避免机械设备摆放突兀，将尘埃细菌等在净化车间内回旋停滞的机会与时间减至最低程度。半导体器件洁净车间洁净区建设部分的技术参数参考： 1.垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%。 2.洁净室与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。 3.洁净室内的噪声级不应大于65dB(A)。 4.万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值：补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和；保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。 5.半导体器件洁净车间内净化空调系统加热器应设置新风，超温断电保护；若采用点加湿时应设置无水保护；寒冷地区新风系统应设置防冻保护措施。 此外，此类洁净室对静电要求极为严格。对于湿度的要求更是尤为重要，因为过于干燥的厂房内极易产生静电，可能导致CMOS集成损坏。一般来说，半导体器件洁净车间的温度应控制在22℃左右，相对湿度控制在50-60%之间。 作为洁净工程领域的专业EPC集成服务商，CEIDI西递拥有丰富的建设设计经验，能够承接各种大型半导体洁净车间的设计、建设和改造项目。有需要的企业可以登录上海西递实业有限公司官网了解咨询。 |
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